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三次元怎么做仪器校准？计量校准内容有哪些？
2022-12-01 11:00
由于侧重点不同，各国制造商和计量标准部门对三坐标测量机提出了几种仪器校准标准。在各国的标准之中，推荐的标准装置并不完全相同，可根据测量的目的和要求进行选择。
标准三坐标测量机的标定所使用的标准装置有很多种。在周期性仪器校准中，通常使用的标准装置是双屏激光干涉仪、量块和步距规。检验中常用的标准有量块、阶梯量规、球板、孔板、标准球、球棒、环形量规、三维标准等。常用的仪器校准标准介绍如下。
1.球板
标准规范之中引入了球板，作为评定长度测量不确定度的可选工具。其优点是操作简单快捷，可追溯性强。球板是一个二维标准，它比一维标准能获得更丰富的信息。例如，如果测量具有25个球的球板，可以获得300个长度测量。值，两个相交的测量对一个球棒与25个球将导致600测量。三坐标测量机的所有几何参数都可以通过测量球面中心间的距离来计算。球板的校准方法并不复杂，但仪器校准的不确定度比量块差，且球板的最大和最小长度尺寸受到限制。球盘是精度较低的中小型三坐标测量机的可选标准。
以球板为标准，通过计算点栋距离来校准长度测量指示的误差。
常用的球板有5排5列，240mmx240mm，332mmx332mm，532mmx532mm。最大的球板可以做成1mx1m，有17排x17列标准球。球板采用钢制，标准球采用陶瓷材料制成，采用液氮冷却技术夹紧固定。标准球在球棒的两边都可以检测到。
2.双频激光干涉仪
双频激光干涉仪是一种高精度、便携式干涉仪。由于其抗干扰能力强，结构紧凑，信号稳定，不仅可以在实验室条件之下使用，也可以在车间使用。其测量长度可达十几米甚至几十米。此以外，它还有着广泛的应用。除了仪器校准长度之外，如果配备相应的光学附件，还可以测量直线度、小角度、平面度、速度、平行度等。也可用于校准三坐标测量机。三个运动方向的垂直度等。是精密机械、造船、飞机制造业进行大规模精密测量不可缺少的精密仪器，其技术已相当成熟。
双频激光干涉仪的特点是测量精度高，仪器固有的系统误差仅为0.1μm（L为测量长度，单位为m），测量范围大，测量数据丰富，适用于测量三坐标测量机的各种几何误差。但该设备价格昂贵且需要专用设备，技术性强，对操作人员要求高，耗时长，且测量任务无法直接追溯到源头。更适用于三坐标测量机的出厂验收试验，和大型三坐标测量机示值误差的附加仪器校准。
3. 量块
仪器的量块是仪器校准三坐标测量机示值误差最常用的物理标准。其优点是适用范围广，安装操作方便，可追溯性强，准确度高。缺点是测量时间长，最大测量长度仅为1m。
用量块测量时，需将选定的不同长度的量块安装在专用的支架之上，使量块的方向与被测轴线或空间方向一致。特殊支架之上有可调节的支撑点。安装量块时，应注意将量块支撑在0.2113L的支撑位置。（L是量块的长度），以确保量块的两个测量表面相互平行。
在测量结果之中应引入标准量块修正量和温度偏离20°C时的温度修正量。
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